Résultats de la recherche - Perez, I.V

  • Résultat(s) 1 - 1 résultats de 1
Affiner les résultats
  1. 1
    Deep level transient spectroscopy study of the damage induced in n-type silicon by a gate oxide etching in a CHF3/Ar plasma

    Deep level transient spectroscopy study of the damage induced in n-type silicon by a gate oxide etching in a CHF3/Ar plasma par Adegboyega, G., Perez, I.V, Poggi, Antonella, Susi, E

    Publié 2020
    Accéder au texte intégral
    Revue
    Ajouter aux favoris
    Enregistré dans:

Outils de recherche: