Deep level transient spectroscopy study of the damage induced in n-type silicon by a gate oxide etching in a CHF3/Ar plasma

Deep level transient spectroscopy study of the damage induced in n-type silicon by a gate oxide etching in a CHF3/Ar plasma

International Journal of vacuum science & technology B 15(3):623 - 628

Đã lưu trong:

Chi tiết về thư mục
Những tác giả chính:	Adegboyega, G., Perez, I.V, Poggi, Antonella, Susi, E
Định dạng:	Tạp chí
Ngôn ngữ:	Tiếng Anh
Được phát hành:	Journal of vacuum science & technology B 2020
Những chủ đề:	transient spectroscopy the dry etching Arrhenius plot activation energies,
Truy cập trực tuyến:	https://ir.oauife.edu.ng/handle/123456789/5091
Các nhãn:	Thêm thẻ Không có thẻ, Là người đầu tiên thẻ bản ghi này!

Những quyển sách tương tự

Intrinsic gettering of Cr impurities in p-type Cz silicon
Bằng: Adegboyega, G.A, et al.
Được phát hành: (2023)

Electrical Properties of Silver Impurities and their Annealing Behaviour in p-Type Fz Silicon
Bằng: Adegboyega, G.A, et al.
Được phát hành: (2023)

Beyond the school gates questioning the extended schools and full service agendas
Bằng: Cummings, Colleen
Được phát hành: (2011)

Organic spectroscopy
Bằng: AHLUWALIA, V.K
Được phát hành: (2020)

Geomagnetic Deep Sounding of Southwestern Nigeria.
Bằng: Arubayi, John Blackie
Được phát hành: (2014)

The effects of oxygen precipitates on the electrical properties of silver impurities in p-type silicon
Bằng: Adegboyega, G.A, et al.
Được phát hành: (2023)

Mossbauer Spectroscopy of Tin Compounds.
Bằng: Arua, Awa Eke
Được phát hành: (2014)

Mossbauer spectroscopy of Tin compounds
Bằng: Arua, Awa Eke
Được phát hành: (2019)

Calcareous Nannofossil Biozonation Scheme of the Deep Offshore Niger Delta
Bằng: Fadiya, Lawrence Suyi
Được phát hành: (2015)

EXTRACTABLE SILICON AND IRON STATUS OF SOME SOUTHWESTERN NIGERIAN SOILS
Bằng: ASHAYE, T. I., et al.
Được phát hành: (2020)

COMPARATIVE STUDY OF THE MID-IR SPECTROSCOPY AND CHEMICAL METHOD FOR SOIL PHYSICAL AND CHEMICAL PROPERTIES
Bằng: Ojo, A O, et al.
Được phát hành: (2017)

Heavy metals speciation study of some selected personal care products in Nigeria by atomic absorption spectroscopy
Bằng: Asafa, Naheem Oladayo
Được phát hành: (2019)

Heavy metals speciation study of some selected personal care products in Nigeria by atomic absorption spectroscopy
Bằng: Asafa, Naheem Oladayo
Được phát hành: (2023)

Determination of Optimum Grain Refinement Parameters for Hypoeutectic Aluminium-Silicon Alloys by a Volatile Mould Coating Process
Bằng: Shittu, Moshood Dehinde
Được phát hành: (2015)

Photonics optoelectronics for MTech, BTech MSc (Electronics), BSc (Hons/ Pass), GATE, NET/SET
Bằng: KAKANI SL Kakani, Shubhra
Được phát hành: (2017)

Perceived Preparedness of Dental Academic Institutions to Cope with the COVID-19 Pandemic: A Multi-Country Survey.
Bằng: Ammar, Nour, et al.
Được phát hành: (2024)

Perceived Preparedness of Dental Academic Institutions to Cope with the COVID-19 Pandemic: A Multi-Country Survey.
Bằng: Ammar, Nour, et al.
Được phát hành: (2024)